当前位置:首页 >九游会J9·登录大厅中心>半导体前处理>安赛斯匀胶机/旋涂仪>HC150SE可编程程控匀胶机
简要描述:HC150SE可编程程控匀胶机是在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
九游会J9·登录大厅分类
Product Category相关文章
Related Articles详细介绍
可编程程控匀胶机
可编程程控匀胶机
可编程精密匀胶机
型号:HC150SE
HC150SE匀胶机,采用高级PLC 全自动程序控制,转速精度高,稳定性好。可用于微电子、半导体、新能源、生物材料、纳米材料等领域高精度薄膜涂层的制备。
特点:
l 设计紧凑,可放置在手套箱内。
l HDPE内腔与不锈钢机身可分离,便于清洁和移动。
l 4.3英寸彩色触屏控制,简单易用,运行状态实时显示。
l 不锈钢外壳,美观耐腐蚀。
l 经CNC一体加工成型的HDPE内腔,耐腐蚀,易清洁;
l 内腔壁采用*的凹面设计,有效防溅;
l 高级PLC全自动程序控制,可编程;
l 带真空度安全互锁检测功能;
l 可设置用户密码保护功能;
l 配置可调基座,方便调节水平;
技术参数:
l 适用晶元尺寸范围:Ø10~150mm;
l 旋涂速度:100~12000rpm;
l 转速分辨率:1rpm;
l 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
l 最大旋涂时间:3000s;
l 旋涂时间精度:0.1s;
l 内腔直径212mm,内腔采用*的凹面防溅设计;
l 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程10组程序,每组程序10步;
l 电源输入:AC200-230V
设备外形尺寸:长X宽X高:310X254X250mm
九游会J9·登录大厅咨询
邮箱:info@analysis-tech.com
地址:北京市海淀区建材城中路3号楼程远大厦B座606
官方微信
公司官网